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第八十九章 光刻机（第2页）

何文康冲着孟谦点了点头，“光刻机的能量转换率平均值还不到千分之一。

所以如何保证一个长时间内持续稳定的高功率输出，这是光源输入的第一个稳，第二个稳在于，如何提升能量稳定以提升良品率，要知道，最终的能量一旦出现一点极小的误差，都会影响到良品率，最后一个稳，也是最基本的稳，如何通过设备稳定来降低用电量。

一个表现优异的激光器和能量转换器，它会影响企业的电力成本以及产品的良品率。”

“一个拥有三四台光刻机的晶圆厂，每年光电费就要上千万...”

孟谦下意识的接了一句。

“目前市面上设备的优劣可以带来的用电差距，高达两倍。”

何文康往右边走了几步，“从能量控制器出来的能量会光束形状设置装置，不同的光束会带来不同的光学效果。

再过去就是能量探测器了，刚才我也说了，能量的误差会直接影响到良品率，所以这里算是对能量的二次确认，能量探测器下面那个东西叫掩模版，这东西本质上就是一个刻着芯片线路的玻璃，类似于相机的底片。

但就这么一块破玻璃，孟总猜猜看多少钱？”

孟谦想了想道，“何总直接说答案吧。”

何文康淡淡一笑，“一块破玻璃，一百万。”

说完，何文康示意孟谦向右走两步，“掩模版下面这一块就是最重要的东西了，物镜，孟总可以数一数，这里总共有20多块镜片，通过这20多块镜片，将掩膜版上的电路图按比例缩小，再被激光映射到硅片上，同时物镜还要补偿各种光学误差。

这个东西，孟总也很清楚，咱们搞不定。

下面这两个平台是测量台和曝光台，正常流程，先测量，再曝光，整个测量台的精度是纳米级的，差1纳米都不行，我们用的自动调焦系统，是米国人设计的。

好了，这就是一台从表面上能看到的光刻机，但技术却不仅只是这些，就比如看到这里的传输带了么，这是传输系统，同样是纳米级的，而且加速系统是航空水平，整个光刻机还需要减震系统，环境控制系统，整机控制系统，自动化操作系统等等。

这就是光刻机，一个把它模块化之后，每一个模块的难度都是一个缩小版光刻机的东西。”

何文康突然有点自言自语的感觉，也不知道这话到底是说给孟谦听的还是说给自己听的。

两人同时在光刻机前沉默驻足，各自有各自的思考。

何文康在回忆自己过去所做的一切，孟谦在思考自己未来该做的一切。

几分钟后，两人无意的对视了一眼，四目相视之间，何文康突然嘴角上扬，再次看向光刻机，“半导体行业真是个吞噬梦想的地方啊。

走吧孟总，我带你去见见工厂的几个领导。”

“等等。”

孟谦喊住了何文康，“我突然有个想法，何总要不要陪我玩个游戏？”

“游戏？”

何文康一脸懵。

“嗯，玩个读心术的游戏。”

孟谦笑着解释，“我们彼此出题，出一些关于工厂员工的题，我们两个人同时回答，由蔡哥去询问答案，看看我们两谁猜得准如何？”

何文康更不解了，“孟总这是何意？”

“何总要是不嫌弃我幼稚的话，且陪我玩玩吧。”

孟谦意味深长的一笑。